用于半导体的 OEM 直流电源系统

产品： 用于半导体制造的 OEM 直流电源系统
描述： 为电抛光 300 mm 晶圆提供电能激励

  
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  • 概述

OEM 6 路通道直流电源

  • 单独封装 的6台600W直流电源
  • 完整的独立控制器，可在预设后独立运行
  • 具备电压斜率和序列功能
  • 能够进行通道间相关操作
  • DeviceNet 接口
  • 固态极性切换